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UP-510 碟形腔式MPCVD設(shè)備
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UP-510系列碟形腔式MPCVD設(shè)備設(shè)計(jì)先進(jìn)，性能可靠。硬件配置穩(wěn)定可靠，軟件系統(tǒng)集成度高，易于操作。沉積面積最高可達(dá)3英寸，生產(chǎn)效率高，適合于生長(zhǎng)大面積金剛石薄膜，也可用于單晶多晶金剛石的大批量生產(chǎn)。
產(chǎn)品描述
技術(shù)指標(biāo)與特性
| 1.大功率微波系統(tǒng) | |
| 微波頻率 | 2450±25MHz |
| 輸出功率 | 0.6kw~10kw 連續(xù)可調(diào) |
| 微波泄漏 | 離設(shè)備 5cm 處，微波泄漏≤ 2 mw/cm2 |
| 2.真空系統(tǒng) | |
| 工作氣壓范圍 | 10~300Torr |
| 自動(dòng)穩(wěn)壓范圍 | 40~250Torr |
| 真空泵 | 4.4L/s 旋片式真空泵 |
| 系統(tǒng)漏率 | <1x10-9 Pa*m3 /s (通過氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)) |
| 腔體保壓能力 | 每 24 小時(shí)壓升小于 0.5 Torr |
| 本底極限真空 | 1Pa |
| 3.真空反應(yīng)腔及基片臺(tái) | |
| 反應(yīng)腔材料及結(jié)構(gòu) | 碟形不銹鋼反應(yīng)腔 |
| 觀察窗口 | 四個(gè) CF 端口， 90°分布。 |
| 測(cè)溫窗口 | 四個(gè) CF 端口， 90°分布。 |
| 自動(dòng)控制上蓋開關(guān) | |
| 鉬基片臺(tái)直徑 | 最大150mm，建議直徑范圍 60mm ~75mm |
| 樣品臺(tái)可上下移動(dòng) | |
| 4.氣路 | |
| 系統(tǒng)自帶四路 MFC | |
| 選用日本進(jìn)口流量計(jì)及流量控制閥 | |
| 5.測(cè)溫系統(tǒng) | |
| 選用德國(guó)品牌紅外測(cè)溫，范圍：300~1300 攝氏度 | |
| 6.軟件 | |
| 配置 PLC 控制的 15“觸摸顯示屏，用戶操作界面友好，所有操作均可在觸摸屏上完成 | |
| 自帶缺水，缺氣，電源缺相，火球跳變，過溫過載，打火等自動(dòng)保護(hù) | |
| 生產(chǎn)流程通過工藝配方自動(dòng)控制,可設(shè)置多達(dá)十套工藝配方 | |
| 系統(tǒng)自帶全自動(dòng)抽氣，點(diǎn)火，升溫，降溫等預(yù)設(shè)流程，用戶操作簡(jiǎn)便 | |
| 全自動(dòng)溫度控制，氣壓控制，極大減輕系統(tǒng)操作員的工作量 | |
關(guān)鍵詞:
MPCVD設(shè)備
微波等離子體
金剛石涂層
培育鉆石
金剛石設(shè)備
金剛石薄膜
金剛石沉積設(shè)備
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